1. 1. Zaczynamy od wyboru pompy prędkościowej (kinetycznej) - pompa turbomolekularna
2.  
3. - zależy od wielkości komory
4. -
5. 2. Dla zastosowań czystych stosujemy pompy bezolejowe: scroll, membranowe, tłokowe
6.  
7. S = V/t * ln (pstart/pend)   // S - litr/min
8.  
9. S = Q / pend -- pend = 5 * 10^-8 mbar.
10. Q = S * Qs * l -- Qs = 5 * 10^-9 mbar
11.  
12. Dobór pompy próżni wstępnej
13. W przypadku gdy nie jest określona pompa rekomendowana stosujemy zależność
14. Q = pstart * Seff = pmax * Sv
15.  
16. Sv = (Pstart/Pmax) * Seff
17. pstart - cisnienie startu pompy HV
18. pmax - maksymalne tolerowane ciśnienie pompy HV
19. Seff - szybkość pompowania pompy HV przy ciśnieniu startu
20.  
21. Wybór pompy jonowej
22. W praktyce pompę jonową dobiera się na poziomie między 1/2 - 1/3 szybkości pompowania głównego układu pompowego.
23. W praktyce warto rozważyc dołożenie przelotowej pompy TSP z Criopanelem (o ile finanse na takie rozwiązanie pozwalają)
24. i/lub pompę typu NEG
25.  
26. Próżnia wstępna - Mieszek DN 16 KF (25KF) o długości min. 1m, oraz trójnik do podłączenia miernika próżni, w przyszłości
27. zostanie dobrany zawór próżni wstępnej.
28.  
29. dodatkowe punkty za wykonanie szkicu...
30. pierwszy krok - obliczyć szybkość pompowania dla szybkości
31.  
32. k3_2
33. dla ukladow z pompa jonowa dobrac rowniez taka pompe
34. okreslic szacunkowo czas pompowania
35.  
36.  
37. Układ pomiarowy
38. Każda oddzielną część systemu powinna posaidać własną głowicę pomiarową
39. Komroa główna powinna zostać wyposażona w spektrometr masowy min. o-50amu (punkt bonusowy)
40. Głowice wymagają miernika, który interpretuje wskazania głowicy; Miernik i głowice tej samej firmy
41. Uwzględniamy takze kable połączeniowe
42.  
43. pfeiffer vacuum
44.  
45. Rodzaje głowic pomiarowych
46.  
47. Układ próżni wstępnej:
48. Ceiplno-przewodnościowe: Pirani, termocouple, konwekcyjne, termistorowe
49. Mechaniczne - w naszym przypadku mozna zastosowac: membranowe pojemnosciowe i piezoelektryczne
50.  
51. Układ próżni wysokiej:
52. Gorąca katoda (Bayard-Alpert) mocno się grzeją, szeroki zakres
53. Zimna katoda (Penning) Obecność pola magnetycznego, wygodniejsze mniejszy zakres dokładności
54. Głowice kombinowane: dwa lub więcej głowic w jednej obudowie - jesli chcemy tanio, lub wymagany szeroki zakres
55.  
56.  
57. Głowica próżni wstępnej zakres atm 10^-4 mbar, w układzie próżni wstępnej, np. piraniego, najczęściej D 16 KF.
58. Głowica próżni wysokie - 10^-4 - projektowanej, możliwie blisko procesu,
59. Miernik i głowice tej samej firmy.
60.  
61. DN40CF
62.  
63.  
64. Wykonać szkic układu ze wskazaniem miejsc pomiarowych
65. Uzasadnić umiejscowienie i wybór.
66.