Facebook
From hej, 6 Months ago, written in Plain Text.
Embed
Download Paste or View Raw
Hits: 74
  1. 1. Zaczynamy od wyboru pompy pr─Ödko┼Ťciowej (kinetycznej) - pompa turbomolekularna
  2.  
  3. - zale┼╝y od wielko┼Ťci komory
  4. -
  5. 2. Dla zastosowań czystych stosujemy pompy bezolejowe: scroll, membranowe, tłokowe
  6.  
  7. S = V/t * ln (pstart/pend)   // S - litr/min
  8.  
  9. S = Q / pend -- pend = 5 * 10^-8 mbar.
  10. Q = S * Qs * l -- Qs = 5 * 10^-9 mbar
  11.  
  12. Dob├│r pompy pr├│┼╝ni wst─Öpnej
  13. W przypadku gdy nie jest okre┼Ťlona pompa rekomendowana stosujemy zale┼╝no┼Ť─ç
  14. Q = pstart * Seff = pmax * Sv
  15.  
  16. Sv = (Pstart/Pmax) * Seff
  17. pstart - cisnienie startu pompy HV
  18. pmax - maksymalne tolerowane ci┼Ťnienie pompy HV
  19. Seff - szybko┼Ť─ç pompowania pompy HV przy ci┼Ťnieniu startu
  20.  
  21. Wyb├│r pompy jonowej
  22. W praktyce pomp─Ö jonow─ů dobiera si─Ö na poziomie mi─Ödzy 1/2 - 1/3 szybko┼Ťci pompowania g┼é├│wnego uk┼éadu pompowego.
  23. W praktyce warto rozwa┼╝yc do┼éo┼╝enie przelotowej pompy TSP z Criopanelem (o ile finanse na takie rozwi─ůzanie pozwalaj─ů)
  24. i/lub pomp─Ö typu NEG
  25.  
  26. Pr├│┼╝nia wst─Öpna - Mieszek DN 16 KF (25KF) o d┼éugo┼Ťci min. 1m, oraz tr├│jnik do pod┼é─ůczenia miernika pr├│┼╝ni, w przysz┼éo┼Ťci
  27. zostanie dobrany zaw├│r pr├│┼╝ni wst─Öpnej.
  28.  
  29. dodatkowe punkty za wykonanie szkicu...
  30. pierwszy krok - obliczy─ç szybko┼Ť─ç pompowania dla szybko┼Ťci
  31.  
  32. k3_2
  33. dla ukladow z pompa jonowa dobrac rowniez taka pompe
  34. okreslic szacunkowo czas pompowania
  35.  
  36.  
  37. Układ pomiarowy
  38. Ka┼╝da oddzieln─ů cz─Ö┼Ť─ç systemu powinna posaida─ç w┼éasn─ů g┼éowic─Ö pomiarow─ů
  39. Komroa główna powinna zostać wyposażona w spektrometr masowy min. o-50amu (punkt bonusowy)
  40. G┼éowice wymagaj─ů miernika, kt├│ry interpretuje wskazania g┼éowicy; Miernik i g┼éowice tej samej firmy
  41. Uwzgl─Ödniamy takze kable po┼é─ůczeniowe
  42.  
  43. pfeiffer vacuum
  44.  
  45. Rodzaje głowic pomiarowych
  46.  
  47. Układ próżni wstępnej:
  48. Ceiplno-przewodno┼Ťciowe: Pirani, termocouple, konwekcyjne, termistorowe
  49. Mechaniczne - w naszym przypadku mozna zastosowac: membranowe pojemnosciowe i piezoelektryczne
  50.  
  51. Układ próżni wysokiej:
  52. Gor─ůca katoda (Bayard-Alpert) mocno si─Ö grzej─ů, szeroki zakres
  53. Zimna katoda (Penning) Obecno┼Ť─ç pola magnetycznego, wygodniejsze mniejszy zakres dok┼éadno┼Ťci
  54. Głowice kombinowane: dwa lub więcej głowic w jednej obudowie - jesli chcemy tanio, lub wymagany szeroki zakres
  55.  
  56.  
  57. G┼éowica pr├│┼╝ni wst─Öpnej zakres atm 10^-4 mbar, w uk┼éadzie pr├│┼╝ni wst─Öpnej, np. piraniego, najcz─Ö┼Ťciej D 16 KF.
  58. Głowica próżni wysokie - 10^-4 - projektowanej, możliwie blisko procesu,
  59. Miernik i głowice tej samej firmy.
  60.  
  61. DN40CF
  62.  
  63.  
  64. Wykonać szkic układu ze wskazaniem miejsc pomiarowych
  65. Uzasadni─ç umiejscowienie i wyb├│r.
  66.