1. Zaczynamy od wyboru pompy prędkościowej (kinetycznej) - pompa turbomolekularna

- zależy od wielkości komory
- 
2. Dla zastosowań czystych stosujemy pompy bezolejowe: scroll, membranowe, tłokowe

S = V/t * ln (pstart/pend)   // S - litr/min

S = Q / pend -- pend = 5 * 10^-8 mbar.
Q = S * Qs * l -- Qs = 5 * 10^-9 mbar

Dobór pompy próżni wstępnej
W przypadku gdy nie jest określona pompa rekomendowana stosujemy zależność 
Q = pstart * Seff = pmax * Sv

Sv = (Pstart/Pmax) * Seff
pstart - cisnienie startu pompy HV
pmax - maksymalne tolerowane ciśnienie pompy HV
Seff - szybkość pompowania pompy HV przy ciśnieniu startu

Wybór pompy jonowej
W praktyce pompę jonową dobiera się na poziomie między 1/2 - 1/3 szybkości pompowania głównego układu pompowego.
W praktyce warto rozważyc dołożenie przelotowej pompy TSP z Criopanelem (o ile finanse na takie rozwiązanie pozwalają) 
i/lub pompę typu NEG

Próżnia wstępna - Mieszek DN 16 KF (25KF) o długości min. 1m, oraz trójnik do podłączenia miernika próżni, w przyszłości
zostanie dobrany zawór próżni wstępnej.

dodatkowe punkty za wykonanie szkicu...
pierwszy krok - obliczyć szybkość pompowania dla szybkości

k3_2
dla ukladow z pompa jonowa dobrac rowniez taka pompe
okreslic szacunkowo czas pompowania 


Układ pomiarowy
Każda oddzielną część systemu powinna posaidać własną głowicę pomiarową
Komroa główna powinna zostać wyposażona w spektrometr masowy min. o-50amu (punkt bonusowy)
Głowice wymagają miernika, który interpretuje wskazania głowicy; Miernik i głowice tej samej firmy
Uwzględniamy takze kable połączeniowe

pfeiffer vacuum

Rodzaje głowic pomiarowych

Układ próżni wstępnej:
Ceiplno-przewodnościowe: Pirani, termocouple, konwekcyjne, termistorowe
Mechaniczne - w naszym przypadku mozna zastosowac: membranowe pojemnosciowe i piezoelektryczne

Układ próżni wysokiej:
Gorąca katoda (Bayard-Alpert) mocno się grzeją, szeroki zakres
Zimna katoda (Penning) Obecność pola magnetycznego, wygodniejsze mniejszy zakres dokładności
Głowice kombinowane: dwa lub więcej głowic w jednej obudowie - jesli chcemy tanio, lub wymagany szeroki zakres


Głowica próżni wstępnej zakres atm 10^-4 mbar, w układzie próżni wstępnej, np. piraniego, najczęściej D 16 KF.
Głowica próżni wysokie - 10^-4 - projektowanej, możliwie blisko procesu,
Miernik i głowice tej samej firmy.

DN40CF


Wykonać szkic układu ze wskazaniem miejsc pomiarowych
Uzasadnić umiejscowienie i wybór.